????原標題：飛天有我：星辰大海守護你

????——記天宮二號飛行任務聲表面波器件的研制團隊

????新華社北京9月16日電（陳瑞、陳佳佳、王婷）六月剛送走“長征七號”火箭，現下，中國航天科工集團二院23所下屬北京航天微電科技有限公司（下簡稱“微電公司”）又守護著天宮二號。他們研制的聲表面波濾波器，過濾掉沿路的大氣層、鄰近空間和太空中的雜散噪聲信號，電磁環境再復雜，都能實現自動消音，只有天宮和神舟飛船的信息才會被傳遞給地面的“家里”。這個法寶，只有指甲蓋大。

????百級生產超凈環境，1立方米空間中含有的直徑大于0.5微米的顆粒不超過3500個，經過除塵、除靜電、風淋等多道程序才能進入生產線，生產者常年白衣白帽白口罩緊裹，生產產品的最細線條相當于頭發絲直徑的1/200，操作需要在50、500甚至1500倍的高倍顯微鏡下進行。那神奇的濾音法寶，就出自一群顯微鏡前工作的人之手。由于常年工作在微納加工的超凈間, 與外界幾乎隔離，即使是同在公司工作很久的其他部門同事，對他們的工作內容也不甚了解。

????航天質量助力民族“飛天夢”

????聲表面波器件是火箭上分系統的核心元器件，主要配套于信號處理系統，由于大氣層、鄰近空間和太空中的電磁環境復雜，雜散噪聲信號眾多，聲表面波濾波器的主要作用就是濾除噪聲信號，保證載波信號傳輸流暢，不失真。

????考慮火箭發射和空間運行過程中近乎嚴苛的極冷極熱、失重超重等極端環境，器件可靠性高、壽命長，更是不能放松的質量目標。

????由于配套的產品膜厚不同，100nm以下的超薄膜層附著力差會引起器件損耗增大，指標超差。作為前工序組長的老王對生產中存在的問題積極開動腦筋，采取不同的方法解決，攻克了潮濕天氣膜層附著力的難題，通過反復幾十次試驗，在不同膜層結構的基礎上優化了參數，保證了膜層附著力。

????作為光刻工序的老師傅老孫負責光刻芯片的鏡檢工作，每天在顯微鏡下對著上千個芯片圖形，而每個圖形的線條寬度都是微米級的，需要把每一個圖形的缺陷準確而快速的剔除。這是耗氣力的眼力活，每天眼睛都和小白兔一樣紅。

????粘片工序的小曹是后工序的組長，有著在玉米粒大小的管殼將小米粒大小的芯片裝配上去的絕活，由于芯片又薄又脆，需要保證芯片沒有劃傷和崩邊，這一手微組裝的絕活要徒弟們練個幾年才能上手。

????壓焊工序的郁師傅，對高可靠產品的壓焊有獨到的手法，為了滿足器件的指標，需要在不足0.2mm的鍵合區將50微米的壓焊絲垂直壓焊，還要保證焊點的形變量，其手法難度如同在米粒上刻字。

????而壓焊工序的小劉，結合多年的生產操作和對產品器件的認知，針對各種型號的產品器件設計并制作了新的工裝夾具，使操作更方便可靠，提高了產品的一致性可靠性。為了提高生產效率還發明了并制作了批量蓋帽、批量摘帽、批量清洗等一系列的批量操作方法和夾具。

????公司為應對大批量的器件訂單，新引進了一臺國產全自動壓焊設備，早期全自動壓焊設備有自動定位困難，只能使用細硅鋁絲導致可靠性差等問題。經過一段時間的研究與改進，小劉設計了針對全自動機器定位困難的定位蓋板，解決了連生產廠家都沒有解決的產品定位困難和粗硅鋁絲使用的壓焊技術，使此國產機器達到了進口機器的水平，大大提高了生產效率和可靠性。

????張師傅在縫焊小尺寸器件時，將每一個蓋板認真對位，其精度小于1絲，由于蓋板只有大米粒那么大，稍有偏差就會造成器件漏氣，這是眼力和耐心的考驗。

????為了質量，為了可靠性，更為了航天這塊“金字招牌”，團隊不敢有絲毫放松。

????技術，為“飛天”而生

????聲表面波濾波器工藝隊伍平均年齡不足30歲，工作時間最長的也僅有10年。團隊里的小鮮肉雖然年紀小，卻學歷高、有沖勁。

????微納光刻加工工藝是聲表面波濾波器芯片加工工藝的核心，也是實現器件性能的關鍵。在尺寸不到1平方毫米的半透明襯底上，成百上千根線寬僅為頭發絲直徑1/40的納米尺度的芯片電極密集排布，肉眼根本無法看見。

????光刻加工時，光線在半透明襯底上有各個方向的折射與反射，極大增加了加工難度。而在采用新設計后，設計要求的芯片電極最細線寬超過了公司現有光刻機的分辨率上限。

????小賀在光刻間摸索了幾個月，休息時間查閱大量國內外文獻，并積極與晶片生產廠家交流，最終想出了這個點子。他優化了整套光刻工藝方案，最終實現納米尺度極細線條的精準制作，不但解決了“長征七號”的需求，還把公司生產的聲表濾波器的頻率一致性和準確性提升了20%以上。

????解決一個“攔路虎”，又添一個“堵路石”。

????火箭需要脫離地心引力需要至少7.9km/s2的加速度，而聲表濾波器芯片的聲學性能和材質限制決定了芯片不能采用高強度固定方式，只能使用有機粘接膠固定。

????為了實現器件的小型化，工藝團隊縮小了外殼尺寸，連帶減小了粘接區域余量，要求粘接工藝精度極高，膠量稍有偏差就會造成溢膠、膠量不足，引發一系列可靠性問題。

????如何實現精確點膠、保證粘接膠的粘接強度及在惡劣環境的可靠性成為擺在團隊成員面前的一道難關。

????小孟通過建立芯片面積與所需膠量最佳值的數學模型，編寫軟件自動生成點膠量與各膠點位置的工藝參數表，通過對照工藝參數表，使操作者在保證高度工藝一致性、穩定性的前提下可精確完成芯片粘接操作。

????這項為了“飛天”而生的點膠粘接技術后來成功申請為一項國家專利。

????為了我們的航天夢

????工藝團隊負責人陳哥總自豪的說：“我們是有責任感、戰斗力強的隊伍。”

????項目研制攻關的時候，倪姐的孩子病了，年輕的母親放下手中的工作匆忙趕去醫院，照看了一天發現病情稍有好轉，她便將孩子委托給婆婆照顧，自己又返回單位繼續工作，結束一天的工作回到家中，孩子早已睡去。

????小賀有一次回老家探親，和鄰座的乘客聊家常，5個多小時后車到站，臨下車前對方問到：“小伙子你挺厲害啊，一路上也沒見你去趟廁所？”

????“我這也是平時工作需要，經常要在光刻間連續工作很長時間，由于出入凈化間頻繁更換凈化服會引入灰塵顆粒影響車間潔凈度，所以喝水少，時間一長，都練出來了。”

????“你也不看看這是誰做的產品”，每當談論起攻克一個個技術難點時，自豪感和成就感浮現在每一個團隊成員的臉上。

????在器件的研制過程中，可靠性是一條紅線，器件性能再好，沒有可靠性根本無法使用。

????在某產品低溫測試時，小徐發現在經歷高低溫瞬間的劇烈變化時，器件幅頻曲線會產生僅僅不到3秒左右的波動，幾秒鐘后測試器件性能又恢復正常。

????這幽靈一般閃現的問題讓小徐絞盡腦汁，他將各種可能的因素以及故障模式綜合歸類，畫出5頁A4紙的故障分析樹。兩個月的時間，他為了這3秒鐘的幅頻波動，對失效器件反復進行了上百次高低溫試驗，問題終于被準確定位在芯片材料上，并找到相應的影響機理和解決措施。

????一輪輪工藝試驗、一次次技術改進，為航空航天系統、國防武器裝備配套著可靠的產品，為用戶提供著優質的服務品，這就是在“航天長征”路上的北京航天微電公司精益求精的聲表面波濾波器工藝團隊，為實現中國夢、航天夢，正在不斷努力著！